Универсальная система для подготовки образцов Gatan PECS Model 682

Система Gatan PECS Model 682 предназначена для подготовки образцов для сканирующей микроскопии. С помощью Gatan PECS Model 682 возможно как проводить травление поверхности с целью удаления нежелательных пленок и рельефов, так и наносить многослойные тонкоплёночные покрытия.

Возможности:

Травление поверхности ионным пучком (Ar).

Нанесение проводящих покрытий распылением мишени ионным пучком(Ar)

Контроль толщины напыляемого покрытия с помощью кварцевых весов.

Параметры:

Количество пушек для расыления мишений: 2

Количество пушек для травления поверхности: 1

Количество мишений: 4 

Энрегия ионов: 1-10 кэВ

Размер образцов: до 1 дюйма в диаметре

Область  травления: диаметр 7-10 мм

Мишени: чистые элементарные материалы, сплавы и прочие соединения 

Размер мишени: диаметр 19 мм, толщина до 1.5 мм