Zeiss AURIGA Laser

Рабочая станция Auriga Laser с пересекающимися ионным и электронным пучками дополнительно укомплектована твердотельным лазером.



Zeiss AURIGA Laser

Печать

Прибор оснащен колонной электронной оптики GEMNI, в качестве источника электронов используется автоэмиссионной катод. Ионная колонна с жидкометаллическим источником ионов формирует сфокусированный пучок ионов Ga+ с энергией до 30 кэВ.

Для получения изображения используются детекторы вторичных электронов In-Lens и детектор Эверхарта-Торнли SE2. Эти же детекторы используются в режиме ионного микроскопа. Также прибор оснащен системой регистрации тока, наведенного электронным пучком.

Твердотельный лазер позволяет контролируемо распылять большой объем различных материалов. 

Система напуска газов позволяет осаждать под действием электронного или ионного пучка различные материалы, а также выполнять литографию с участием газа.

Также рабочая станция оснащена столом с возможностью перемещения по 6 осям, микроманипулятором Kleindiek Nanotechnik.

Подробнее...