Zeiss Libra 200FE

Просвечивающий электронный микроскоп с автоэмиссионным катодом, энергетическим ОМЕГА фильтром, системой освещения по Кёлеру (запатентовано Carl Zeiss SMT) – микроскоп спроектирован для работы с высоким разрешением.



Просвечивающий электронный микроскоп Zeiss Libra 200FE

Печать

Libra 200 FE - аналитический просвечивающий электронный микроскоп для проведения исследований твердотельных и биологических образцов. Оснащен высокоэффективным автоэмиссионным эмиттером и энергетическим ОМЕГА-фильтром для выполнения прецизионных измерений с высоким разрешением кристаллической решетки и химического состава наноразмерных объектов. Снимки, полученные в МРЦ по направлению "Нанотехнологии".

Основные характеристики микроскопа:

Ускоряющее напряжение:

  • 200 кВ, 80 кВ, 120 кВ 

Увеличение:

  • в режиме  ПЭМ (ТЕМ) 8х - 1 000 000х
  • в режиме ПРЭМ (STEM) 2 000х - 5 000 000х
  • в режиме СХПЭЭ (EELS) 20х - 315х

Предельное разрешение:

  • в режиме ПЭМ 0.12 нм
  • в режиме ПРЭМ (STEM) 0.19 нм

Разрешение спектрометра СХПЭЭ (EELS): по энергии 0.7 эВ.

Методы

  • Высокоразрешающая электронная микроскопия (ВРЭМ)
  • Просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ)
  • Сканирующая просвечивающая электронная микроскопия (СТЭМ)
  • ПЭМ с фильтрацией по энергиямЭлектронная дифракция (ED)
  • ED в сходящемся пучке (CBED)
  • Аналитическая электронная микроскопия (EELS, EDS)
  • Z-контраст
  • Наблюдение объекта в диапазоне температур от -170С до 25С

Области применения

  • Характеризация кристаллической решетки и химической природы нанообъектов
  • Локальный анализ элементного состава
  • Анализ структурного совершенства многослойных гетероструктур для микро- и оптоэлектроники
  • Идентификация дефектов кристаллической решетки  полупроводниковых материалов
  • Тонкая структура биологических объектов

Требования к образцам

Стандартный размер образцов в плоскости держателя ПЭМ 3 мм в диаметре. Типичные толщины для ПЭМ, например:

  • Алюминивые сплавы, полупроводниковые материалы ПЭМ - 1000 nm; ВРЭМ - 50 nm
 

Энергодисперсионный детектор рентгеновского излучения X-Max

Печать
  • Тип спектрометра: энергодисперсионный (EDS);
  • Тип детектора: Analytical Silicon Drift Detector (SDD) : X-Max;
          Активная площадь кристалла 80мм^2;
          Безазотное охлаждение (Пельтье);
          Моторизированный слайдер
  • Спектральное разрешение: 127 эВ (Mn), соответствует ISO15632:2002;
  • Чувствительность к концентрации: 0,1%;
 

Держатели образов для LIBRA 200

Печать


Gatan Model  643 одноосный аналитический держатель


Предназначен для получения изображений и аналитических приложений, такие как электронная дифракции и EDX анализ образцов ТЕМ, где не требуется две оси наклона образца.

Основные характеристики

• Скорость дрейфа                                      1.5 нм/мин

• Разрешение                                                0.34 нм при нулевом угле наклона

• Размер образца                                          3 мм диаметр, 100 микрон толщина

• Материал держателя                                Бериллий

• Угол наклона                                              максимум 60ᵒ



Gatan Model  646 двухосный аналитический держатель


Предназначен для получения изображений с высоким разрешением, держатель  включает в себя конструктивные особенности, оптимизирован для электронной дифракции и EDX анализа кристаллических образцов.

Основные характеристики

• Скорость дрейфа                                      1.5 нм/мин

• Разрешение                                               0.34 нм при нулевом угле наклона

• Размер образца                                         3 мм диаметр, 100 микрон толщина

• Материал держателя                                Бериллий

• Углы наклона                                             α =60ᵒ  β = 45ᵒ

 


Gatan Model  626 Одноосный Крио трансфер аналитический держатель


Крио держатель используется в приложениях для исследований при низких температурах замороженных гидратированных образцов,  Он также может быть использована для исследований in-situ фазовых переходов и снижение загрязнения в результате миграции углерода, уменьшения нежелательных тепловых эффектов в EELS.

Основные характеристики

• Скорость дрейфа                                      1.5 нм/мин

• Разрешение                                                0.34 нм при нулевом угле наклона

• Размер образца                                          3 мм диаметр, 100 микрон толщина

• Макс. рабочая температура                     110ᵒС

• Мин.  рабочая температура                      - 170ᵒС

• Криоген                                                       Жидкий азот

• Стабильность температуры                     ± 1ᵒС

• Время охлаждения                                     30 минут до -170ᵒС

• Материал держателя                                 Медь

• Угол наклона                                             максимум 60ᵒ

Используется совместно с:

Рабочая станция Model 626 workstation

• Контроллер температуры Model 900 SmartSet cold stage controller

 


Gatan Model 636 Двухосный Крио аналитический держатель


Крио держатель используется в приложениях для исследований при низких температурах, in-situ фазовых переходов и снижение загрязнения в результате миграции углерода. Он также может быть использована для уменьшения нежелательных тепловых эффектов в аналитических методах EELS и EDX

Основные характеристики

• Скорость дрейфа                                      1.5 нм/мин

• Разрешение                                                0.34 нм при нулевом угле наклона

• Размер образца                                          3 мм диаметр, 100 микрон толщина

• Макс. рабочая температура                    110ᵒС

• Мин.  рабочая температура                     - 170ᵒС

• Криоген                                                     Жидкий азот

• Стабильность температуры                   ± 1ᵒС

• Время охлаждения                                   30 минут до -170ᵒС

• Материал держателя                              Бериллий

• Углы наклона                                           α =60ᵒ  β = 45ᵒ

Используется совместно с:


• Контроллер температуры Model 900 SmartSet cold stage controller

 


Gatan Model 652 Двухосный аналитический держатель с нагревом


Держатель с возможностью нагрева образца предназначен для in-situ наблюдения микро - структурные изменения фазы, нуклеации, ростом и растворением в процессе повышенных температур.

Основные характеристики

• Скорость дрейфа                                      0.2 нм/мин (при температуре от 0 до 500ᵒC)

• Разрешение                                               0.34 нм при нулевом угле наклона

• Размер образца                                         3 мм диаметр, 500 микрон толщина

• Макс. рабочая температура                   1000ᵒС

• Мин.  рабочая температура                    комната

• Материал держателя                              Бериллий, медь

• Углы наклона                                           α =45ᵒ  β = 30ᵒ

Используется совместно с:

• Контроллер температуры Model 901 SmartSet Hot Stage Controller

• Водяным рециркулятором Model 652.09J Water recirculator

 


Gatan Model 654 Одноосный деформационный держатель


Держатель предназначен для исследования in-situ растяжение образцов.

Основные характеристики

• Скорость дрейфа                                      1.5 нм/мин

• Разрешение                                                0.34 нм при нулевом угле наклона

• Размер образца                                          2.5 мм X 11.5 мм, 500 микрон толщина

Используется совместно с:


• Контроллер Accutroller Model 902

 


Fischione Model 2040 Двухосевой томографический держатель


Держатель с дополнительной осью вращения предназначен для получения серии изображений для томографии.

Основные характеристики

• Скорость дрейфа                                      1.5 нм/мин

• Разрешение                                                0.34 нм при нулевом угле наклона

• Размер образца                                          3 мм диаметр, 100 микрон толщина

• Материал держателя                                Медь

• Угол наклона                                              максимум 70ᵒ