Просвечивающий электронный микроскоп Zeiss Libra 200FE

Печать

Libra 200 FE - аналитический просвечивающий электронный микроскоп для проведения исследований твердотельных и биологических образцов. Оснащен высокоэффективным автоэмиссионным эмиттером и энергетическим ОМЕГА-фильтром для выполнения прецизионных измерений с высоким разрешением кристаллической решетки и химического состава наноразмерных объектов. Снимки, полученные в МРЦ по направлению "Нанотехнологии".

Основные характеристики микроскопа:

Ускоряющее напряжение:

  • 200 кВ, 80 кВ, 120 кВ 

Увеличение:

  • в режиме  ПЭМ (ТЕМ) 8х - 1 000 000х
  • в режиме ПРЭМ (STEM) 2 000х - 5 000 000х
  • в режиме СХПЭЭ (EELS) 20х - 315х

Предельное разрешение:

  • в режиме ПЭМ 0.12 нм
  • в режиме ПРЭМ (STEM) 0.19 нм

Разрешение спектрометра СХПЭЭ (EELS): по энергии 0.7 эВ.

Методы

  • Высокоразрешающая электронная микроскопия (ВРЭМ)
  • Просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ)
  • Сканирующая просвечивающая электронная микроскопия (СТЭМ)
  • ПЭМ с фильтрацией по энергиямЭлектронная дифракция (ED)
  • ED в сходящемся пучке (CBED)
  • Аналитическая электронная микроскопия (EELS, EDS)
  • Z-контраст
  • Наблюдение объекта в диапазоне температур от -170С до 25С

Области применения

  • Характеризация кристаллической решетки и химической природы нанообъектов
  • Локальный анализ элементного состава
  • Анализ структурного совершенства многослойных гетероструктур для микро- и оптоэлектроники
  • Идентификация дефектов кристаллической решетки  полупроводниковых материалов
  • Тонкая структура биологических объектов

Требования к образцам

Стандартный размер образцов в плоскости держателя ПЭМ 3 мм в диаметре. Типичные толщины для ПЭМ, например:

  • Алюминивые сплавы, полупроводниковые материалы ПЭМ - 1000 nm; ВРЭМ - 50 nm