Zeiss Merlin

Сканирующий электронный микроскоп Zeiss Merlin

Печать

Zeiss Merlin - сканирующий электронный микроскоп с полевым эмиссионным катодом, колонной электронной оптики GEMINI-II и безмаслянной вакуумной системой.

Помимо детекторов вторичных электронов In-lens SE и SE2, микроскоп оснащен четырехквадрантным детектором обратно-рассеянных электронов (AsB) и детектором обратно-рассеянных электронов с фильтрацией по энергиям (EsB).

Аналитические возможности микроскопа расширены дополнительными приставками для рентгеновского микроанализа Oxford Instruments INCAx-act и системой регистрации дифракции обратнорассеянных электронов (EBSD) Oxford Instruments CHANNEL5.

Подробнее...
 

Oxford Instruments INCAx-act

Печать

Система энергодисперсионного ренгеновского микроанализа Oxford Instruments INCAx-act, благодаря детектору большой площади и высокой чувствительности, позволяет производить экспресс-анализ элементного состава образцов даже при  малых токах пучка, порядка двух - трех сотен пикоампер. Таким образом, при анализе сохраняется высокое разрешение при одновременной регистрации SE-изображений, наносится минимальный ущерб исследуемому объекту.

Установленный спектрометр, благодаря пакету INCASynergy, скомбинирован с системой регистрации и анализа дифракции обратно-рассеянных электронов (EBSD) Oxford Instruments CHANNEL5, что позволяет одновременно исследовать распределение элемнтного состава и кристаллических фаз в приповерхностой области образца.

Подробно о ренгеновском микроанализе можно прочесть в книге Дж. Гоулдстейна "Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ", пожалуй одной из лучших книг по сканирующей электронной микроскопии.

Подробнее...