Oxford Instruments INCAx-act

Печать

Система энергодисперсионного ренгеновского микроанализа Oxford Instruments INCAx-act, благодаря детектору большой площади и высокой чувствительности, позволяет производить экспресс-анализ элементного состава образцов даже при  малых токах пучка, порядка двух - трех сотен пикоампер. Таким образом, при анализе сохраняется высокое разрешение при одновременной регистрации SE-изображений, наносится минимальный ущерб исследуемому объекту.

Установленный спектрометр, благодаря пакету INCASynergy, скомбинирован с системой регистрации и анализа дифракции обратно-рассеянных электронов (EBSD) Oxford Instruments CHANNEL5, что позволяет одновременно исследовать распределение элемнтного состава и кристаллических фаз в приповерхностой области образца.

Подробно о ренгеновском микроанализе можно прочесть в книге Дж. Гоулдстейна "Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ", пожалуй одной из лучших книг по сканирующей электронной микроскопии.

Характеристики системы

  • Тип спектрометра: энергодисперсионный (EDS);
  • Тип детектора: Analytical Silicon Drift Detector (SDD) : INCAx-act;
    • Безазотное охлаждение (Пельтье);
  • Спектральное разрешение: 126 эВ (Mn), соответствует ISO15632:2002;
  • Чувствительность к концентрации: 0,1%;
  • Спектрометр комбинирован с детектором дифракции обратно-рассеянных электронов (EBSD);