Система ионной литографии NanoMaker

Печать

Программно-аппаратный комплекс NanoMaker производства Interface Ltd., предназначенный для проектирования и создания структур методами ионной и электронной литографии. Система позволяет выполнять экспонирование резиста, распыление материала ионным пучком и захват изображения с микроскопа, компенсировать статические и динамические ошибки отклоняющих систем микроскопа.  Программное обеспечение позволяет подготовить данные для экспонирования или импортировать данные из растрового изображения.
Помимо стандартного ПО Nanomaker дополнительно установлено программное обеспечение, моделирующее процесс распыления материала ионным пучком путем решения обратной задачи с учетом зависимости скорости распыления материала от угла падения пучка, изменяющегося в процессе распыления.