Gatan PECS

Печать

Gatan Precision Etching & Coating System

Система подготовки образцов для сканирующей микроскопии

Травление поверхности ионным пучком (Ar).

Нанесение проводящих покрытий распылением мишени ионным пучком(Ar).

Энрегия ионов до 10 кэВ.

Контроль толщины напыляемого покрытия с помощью кварцевых весов.