Сканирующий электронный микроскоп Zeiss Supra 40VP

Печать

Zeiss Supra 40VP - сканирующий электронный микроскоп с полевым (Field Emission) катодом, колонной электронной оптики GEMINI и полностью безмаслянной вакуумной системой с режимом работы на низком вакууме (VP). Снимки, полученные в МРЦ по направлению "Нанотехнологии".

Помимо стандартных для серии Supra детекторов вторичных электронов In-lens SE и SE2, микроскоп оснащен детектором вторичных электронов для режима низкого вакуума (VPSE), четырехквадрантным детектором обратнорассеянных электронов (AsB).

Аналитические возможности микроскопа расширены системой регистрации катодолюминесценции Gatan MonoCL3+ и системой регистрации токов наведенных электронным лучом (EBIC) Gatan SmartEBIC.

Два микроманипулятора Kleidiek Nanotechnik позволяют модифицировать наноструктуры, контролируя процесс в режиме реального времени.

Ссылки на литературу по сканирующей электронной микроскопии и аналитическим методам СЭМ можно найти в разделе Книги нашего сайта.

 

Основные характеристики микроскопа:

  1. Пространственное разрешение (предельное)

    Ускоряющее напряжение Разрешение
    200 В 5 нм
    1 кВ 2.1 нм
    15 кВ 1.3 нм
  2. Характеристики источника

    Диапазон токов пучка
    4пA - 40 нA
    Стабильность тока пучка
    лучше чем 0,2% / час
  3. Вакуумные режимы

    Высокий вакуум в камере (HV)
    5x10-7торр
    Контролируемый низкий вакуум в камере(VP)
    1 Па - 144 Па
  4. Стандартные детекторы

    • Внутрилинзовый детектор вторичных электронов (In-lens SE)
    • Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (SE2)
    • Детектор вторичных электронов для режима низкого вакуума в камере (VPSE)
    • Четырехквадрантный детектор обратнорассеянных электронов (AsB)
  5. Параметры стандартного стола

Моторизованный пятиосевой (Klein MK5)