Russian (Russia)

Сканирующий зондовый микроскоп NT-SPb ProBeam

Сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ) NT-SPb ProBeam предназначен для изучения и модификации поверхности твёрдых образцов в нанометровом диапазоне линейных размеров, адаптирован для совместной работы в составе сканирующего электронного микроскопа (СЭМ) Zeiss Supra 40VP.

 Основные параметры:

Область сканирования  7×7×7 мкм
Нелинейность сканирования (плоскость xy) не более 5%
Неплоскостность сканирования (плоскость xy) не более 100 нм
Минимальный шаг при сканировании 1 Å
Разрешение в плоскости xy (для W зонда) не более 50 нм
Разрешение в плоскости xy (для Si зонда) не более 15 нм
Разрешение по оси z (для W и Si зонда) не более 2 нм
Дрейф в плоскости xy не более 0.5 нм/с
Дрейф по оси z не более 1 нм/с
Максимальное разрешение области сканирования (изображения) 1024×1024 
Размеры исследуемых образцов (диаметр×толщин) не более 10×10×5 мм
Диапазон перемещения зонда (плоскость xy) - поиск кадра 5×5 мм
Минимальный шаг перемещения для выбора кадра 50 нм
Габаритные размеры (Д×Ш×В) 70×70×40 мм

  Основные параметры зонда:

  Пьезотрубчатый зонд Кантилевер
Диапазон резонансных частот (пьезотрубчатый зонд) 6-14 кГц , рекомендуемая 8 кГЦ 40-90 кГц , рекомендуемая 60 кГЦ
Добротность  не менее 20 не менее 100
Радиус кривизны не более 100 нм не более 20 нм

Дополнительные расширения:

  • Адаптер для работы с пьезорезистивным кантилевером 
  • Автоматизированная установка для изготовления нанозондов
  • Электронный блок ProBeam (СЗМ контроллер)

Программное обеспечение:

  • Специализированная программа управления микроскопом ProBeam
  • Программа Oscilloscope эмулятор двулучевого осциллографа
  • Специализированная программа управления устройством для изготовления зондов
  Russian (Russia)