Появление сканирующего ионного микроскопа является новым этапом в развитии сканирующей микроскопии, характеризующимся получением субнанометрового разрешения. Благодаря минимально\возможному размеру источника ионов, который представляет собой одиночный атом вольфрама, теоретический предел разрешения составляет 0,25 нм

     ...

Комплекс пробоподготовки, развернутый в лаборатории МРЦ по направлению "Нанотехнологии", включает системы прецизионного ионного травления и напыления (Gatan PECS, Gatan PIPS, Fischione NanoMill), а также приборы, позволяющие проводить полный цикл пробоподготовки для сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии.

Просвечивающий электронный микроскоп с автоэмиссионным катодом, энергетическим Ω-фильтром, системой освещения по Кёлеру (запатентовано Carl Zeiss SMT) – микроскоп спроектирован для работы с высоким разрешением.

 Оптические (световые) микроскопы, оснащенные набором дополнительных приставок.

 Zeiss Merlin - сканирующий электронный микроскоп с полевым эмиссионным катодом, колонной электронной оптики GEMINI-II.