Установка ионного травления  Gatan PIPS  Model 691

Установка прецезионного ионного травления Gatan PIPS  Model 691  пердназначенная для финальной полировки образцов.

Полировка поверхности ионным пучком (Ar).

Количество ионных ушек: 2

Энергия ионов: 1.5-6 кэВ

Размер пятна ионного пучка:  350 - 800 мкм при 5 кэВ

Плотность ток: до 10 мА/см²

Положение пушек по отношению к  плоскости образца: -10º..+10º

Размер  образца: диаметр 3 мм, толщина 100-250 мкм 

Вращение образца: 1-6 об/мин

Автоматизированный оптический контроль толщины образца