Russian (Russia)

FISCHIONE NanoMill. Model 1040.

FISCHIONE NanoMill установка для создания высококачественных тонких образов для ПЭМ высокого разрешени (ВРПЭМ). 

Специфика процессов ионного травления и ионной полировки приводит к повреждению приповерхносного слоя материала, что выражается  в виде появления тонкого аморфного слоя с повышенным содержанием ионов источника.  Толщина поврежденного слоя может варьироваться в пределах 10-30 нм и его наличие, может крайне негативно повлиять на качество последующих исследований и конечном продукте.

Установка NanoMill позволяет быстро удалять поврежденный слои и выравнивать поверхность с помощью сфокусированного низкоэнергетического пучка ионов аргона, детектор вторичных электронов позволяет визуализировать и задавать область ионной полировки. В результате полировки, в частности, удаётся получить чёткое изображение в фазовом контрасте без существенного искажает информацию в ПЭМ.

Параметры:

Ионный источник 

  • Ионный источник на основе нити накаливания, комбинированный с электронно-линзовой системой.
  • Ускоряющее напряжение:  50 -2000 эВ
  • Плотность тока пучка: до 1мA/см2
  • Диаметр пучка: менее 2 мкм 
  • Ток пучка  в диапазоне  1-2000 пА 

Углы наклона образца

  • в режиме просмотра СИМ -12 до +30 
  • в режиме полировки  -10 до +10°.

Вакуумная система 

  • Полностью без масляная система откачки (турбомолекулярный насос + мембранный насос)

Газовая система

  • Скорость потока до 2 см3/мин.
  • Интегрированный фильтр микрочастиц
  • Инертный газ – молекулярный аргон

Режимы полировки  

  • Воздействие в точке 
  • Сканирование по выбранной области

Охлаждение 

  • Система позволяет охлаждать образец до температуры  -175oС 
  • Время охлаждения системы 20 минут
  • Время охлаждения образца 5 минут
  • Интегрированная печь обеспечивает быстрый  нагрев образца до комнатной температуры

Визуализация 

  • Детектор вторичных электронов Эверхарта -Торнли позволяет регистрировать изображение в режиме ионного микроскопа (СИМ)

 Пример

ВРПЭМ планарное изображение фольги гетероструктуры GaAs/AlGaAs приготовленной на установках GATAN - dimple grinder и PIPS  ВРПЭМ планарное изображение фольги гетероструктуры GaAs/AlGaAs приготовленной на установках Zeiss CrossBeam 1540XB и FISCHIONE NanoMill

 

  Russian (Russia)