Сканирующий электронный микроскоп Zeiss Supra 40VP.

Zeiss Supra 40VP - сканирующий электронный микроскоп с расширенными возможностями для проведения оптических  и электро-физических измерений. Возможности микроскопа расширены благодаря наличию системы регистрации катодолюминесценции Gatan MonoCL3+, микроманипуляторов Kleindiek Nanotechnik, встроенного атомно-силового мискроскопа (АСМ), а также сменных взаимозаменяемых  столов для проведения низко- и высоко-температурных исследований.

Особенности:

  • Электронная колонна GEMINI® с автоэмиссионной катодом.
  • Полностью безмасляная вакуумная система  
  • Наличие режима для работы при низком вакууме в камере (VP)

Параметры:

  •  Увеличение: 12× - 900000×
  • Пространственное разрешение (предельное)
Ускоряющее напряжение   Разрешение
200 В 5 нм
1 кВ 2.1 нм
15 кВ   1.3 нм
  • Ток пучка:  4пA - 20 мкA
  • Стабильность тока пучка: менее 0,2% / час 
  • Ускоряющее напряжение: 0.1 – 30 кВ

Детекторы

  • детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (SE2)
  • внутрилинзовый детектор вторичных электронов (In-Lens)
  • инфракрасная CCD камера 
  • детектор вторичных электронов для работы при режиме низкого вакуума (VPSE)
  • четырехквадрантный детектор обратно-рассеянных электронов (AsB)
  • система регистрации тока, наведённого электронным пучком (Gatan SmartEBIC)

Микроманипуляторы Kleindiek Nanotechnik.

Трёхосевой микроманипулятор с пьезоприводом и управлением в реальном времени
Минимальный шаг: 25 нм 

Стол для проведения высокотемпературных исследований

Моторизованный пятиосевой (Klein MK5)
Диапазон температур: 300-750 K 

Стол для проведения низкотемпературных исследований

Механические трёхосевой (Gatan CF302)
Наличие шлюза для быстрой смены образцов
Хладагент: жидкий азот (LN2)  и жидкий гелий (LHe2)  
Диапазон температур: 6-400 K 

Система регистрации катодолюминесценции Gatan MonoCL3+

Система регистрации катодолюминесценции Gatan MonoCL3+ благодаря прецизионному параболическому зеркалу и двум высокочувствительным детекторам позволяет записывать спектры катодолюминесценции в диапазоне длин волн от ультрафиолетовой области до ближнего инфракрасного излучения. 

Интегрированный в СЭМ сканирующий зондовый микроскоп NT-SPb ProBeam

Сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ) NT-SPb ProBeam предназначен для изучения и модификации поверхности твёрдых образцов в нанометровом диапазоне линейных размеров, адаптирован для совместной работы в составе сканирующего электронного микроскопа (СЭМ) Zeiss Supra 40VP.

 Программное обеспечение:

 SmartSEM®