Сканирующий электронный микроскоп Zeiss Supra 40VP.

Zeiss Supra 40VP - сканирующий электронный микроскоп с расширенными возможностями для проведения оптических  и электро-физических измерений. Возможности микроскопа расширены благодаря наличию системы регистрации катодолюминесценции Gatan MonoCL3+, микроманипуляторов Kleindiek Nanotechnik, встроенного атомно-силового мискроскопа (АСМ), а также сменных взаимозаменяемых  столов для проведения низко- и высоко-температурных исследований.

Особенности:

• Электронная колонна GEMINI® с автоэмиссионной катодом.
• Полностью безмасляная вакуумная система  
• Наличие режима для работы при низком вакууме в камере (VP)

Параметры:

•  Увеличение: 12× - 900000×
• Пространственное разрешение (предельное)

• Ток пучка:  4пA - 20 мкA
• Стабильность тока пучка: менее 0,2% / час 
• Ускоряющее напряжение: 0.1 – 30 кВ

Детекторы

• детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (SE2)
• внутрилинзовый детектор вторичных электронов (In-Lens)
• инфракрасная CCD камера 
• детектор вторичных электронов для работы при режиме низкого вакуума (VPSE)
• четырехквадрантный детектор обратно-рассеянных электронов (AsB)
• система регистрации тока, наведённого электронным пучком (Gatan SmartEBIC)

Микроманипуляторы Kleindiek Nanotechnik.

Трёхосевой микроманипулятор с пьезоприводом и управлением в реальном времени
Минимальный шаг: 25 нм 

Стол для проведения высокотемпературных исследований

Моторизованный пятиосевой (Klein MK5)
Диапазон температур: 300-750 K 

Стол для проведения низкотемпературных исследований

Механические трёхосевой (Gatan CF302)
Наличие шлюза для быстрой смены образцов
Хладагент: жидкий азот (LN₂)  и жидкий гелий (LHe₂)  
Диапазон температур: 6-400 K 

Система регистрации катодолюминесценции Gatan MonoCL3+

Система регистрации катодолюминесценции Gatan MonoCL3+ благодаря прецизионному параболическому зеркалу и двум высокочувствительным детекторам позволяет записывать спектры катодолюминесценции в диапазоне длин волн от ультрафиолетовой области до ближнего инфракрасного излучения. 

Интегрированный в СЭМ сканирующий зондовый микроскоп NT-SPb ProBeam

Сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ) NT-SPb ProBeam предназначен для изучения и модификации поверхности твёрдых образцов в нанометровом диапазоне линейных размеров, адаптирован для совместной работы в составе сканирующего электронного микроскопа (СЭМ) Zeiss Supra 40VP.

 Программное обеспечение:

 SmartSEM®