Сканирующий ионный гелиевый микроскоп Zeiss ORION

Сфокусированный с помощью электростатических линз микроскопа ионный пучок обладает малым углом сходимости, что позволяет получить значительно большую глубину фокуса, по сравнению со стандартной сканирующей электронной микроскопией. Минимальные размеры ионного зонда   также позволяет проводить локальную модификации областей поверхности образцов с линейными размерами порядка нескольких нанометров.

Поскольку масса ионов значительно больше по сравнению с электронами, то  существенно уменьшается влияние дифракции и увеличивается сечение рассеяния на атомах исследуемого материала, благодаря чему увеличивается контраст по атомному номеру, как в режиме регистрации вторичных электронов, так и при регистрации обратно-рассеянных ионов. Другой особенностью ионного сканирующего микроскопа является малый ток пучка, на три порядка меньший, чем типичный ток пучка электронного микроскопа. Это позволяет избежать негативных последствий, связанных с изменениями, происходящими в образце под действием пучка и уменьшить влияние зарядки поверхности не проводящих образцов.

В качестве источника ионов используется вольфрамовое острие, на котором происходит автоионизация гелия в сильном электрическом поле. Режим сканирующей автоионной микроскопии позволяет непосредственно наблюдать форму источника с атомарным разрешением и формировать устойчивую конфигурацию из трех атомов, а также проводить механическую юстировку источника. Пучок от одного атома из тройки (в центре кадра) используется для получения изображения.

Особенности:

  • Малый угол сходимости пучка
  • Малый ток пучка
  • Повышенная поверхностная чувствительность 
  • Полностью безмасляная вакуумная система  
  • Система компенсации избыточного положительного заряда поверхности

Параметры:

  • Пространственное разрешение (по резкости края): 0,6 нм
  • Ускоряющее напряжение: 10 – 40 кВ
  • Ток ионного пучка:  0,1-100 пA
  • Ионы: гелии

Детекторы

  • детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (SE2)
  • инфракрасная CCD камера 
  • детектор обратно-рассеянных ионов

Нанолитографический комплекс NanoMaker 

Программно-аппаратный комплекс NanoMaker производства Interface Ltd., предназначенный для проектирования и создания структур методами ионно- и электронно-лучевой  литографии.

 Программное обеспечение:

Специализированное ПО