Двулучевая рабочая станция Zeiss Auriga Laser
Рабочая станция Auriga Laser с пересекающимися сфокусированными ионным и электронным пучками предназначена, главным образом, для проведения прецизионной локальной модификации (имплантации, аморфизации, металлизации, распыления) поверхности образцов под воздействием ионов.
Станция дополнительно укомплектована системой напуска газов, твердотельным лазером, системой литографии, столом с возможностью перемещения по 6 осям, микроманипулятором Kleindiek Nanotechnik.