Сканирующий ионный гелиевый микроскоп Zeiss ORION

Сфокусированный с помощью электростатических линз микроскопа ионный пучок обладает малым углом сходимости, что позволяет получить значительно большую глубину фокуса, по сравнению со стандартной сканирующей электронной микроскопией. Минимальные размеры ионного зонда   также позволяет проводить локальную модификации областей поверхности образцов с линейными размерами порядка нескольких нанометров.

Поскольку масса ионов значительно больше по сравнению с электронами, то  существенно уменьшается влияние дифракции и увеличивается сечение рассеяния на атомах исследуемого материала, благодаря чему увеличивается контраст по атомному номеру, как в режиме регистрации вторичных электронов, так и при регистрации обратно-рассеянных ионов. Другой особенностью ионного сканирующего микроскопа является малый ток пучка, на три порядка меньший, чем типичный ток пучка электронного микроскопа. Это позволяет избежать негативных последствий, связанных с изменениями, происходящими в образце под действием пучка и уменьшить влияние зарядки поверхности не проводящих образцов.

Подробнее...